1 简介

真空泵是一种旋转式变容真空泵须有前级泵配合方(fang)可使用(yong)在较宽的(de)压力范围内有较大的(de)抽速对被抽除(chu)气体中含(han)有灰尘(chen)和水蒸(zheng)汽不敏感广泛用(yong)于冶金、化工、食(shi)品、电子镀膜(mo)等行业。[1]

2 特点

(1)在较宽的压力(li)范围内有(you)较大的抽速(su)；

(2)转子具有良好的(de)几何对称性，故振动小(xiao)，运(yun)转平稳。转子间(jian)(jian)及(ji)转子和壳体间(jian)(jian)均有间(jian)(jian)隙，不(bu)用润滑(hua)，摩擦损失小(xiao)，可大大降低驱动功率，从(cong)而可实现较高转速；

(3)泵腔(qiang)内无需用油(you)密(mi)封和润滑，可减少(shao)油(you)蒸气对真空系统的污染；

(4)泵腔内无压缩，无排气阀(fa)。结(jie)构简单、紧(jin)凑，对被抽气体(ti)中(zhong)的灰尘和(he)水蒸汽不(bu)敏感；

(5)压(ya)缩比(bi)较低，对(dui)氢(qing)气(qi)抽气(qi)效(xiao)果(guo)差；

(6)转(zhuan)子表面为形状(zhuang)较为复杂(za)的(de)曲(qu)线柱面，加(jia)工(gong)和检查比(bi)较困难。

3 结构

（1） 泵总体结构(gou)型式(shi)

真空泵的(de)泵体(ti)的(de)布置结构(gou)(gou)决定(ding)了泵的(de)总体(ti)结构(gou)(gou)。

立式(shi)结构的进、排气口水平设置，装配和连接(jie)管路都比较(jiao)方便(bian)。但泵(beng)的重心较(jiao)高，在高速运转时稳定性差，故(gu)这种型(xing)式(shi)多(duo)用于小泵(beng)。

卧式泵(beng)的进气(qi)(qi)口(kou)(kou)在上，排(pai)气(qi)(qi)口(kou)(kou)在下。有时(shi)为了(le)真空系统管道安装(zhuang)连接(jie)方(fang)(fang)便(bian)，可将排(pai)气(qi)(qi)口(kou)(kou)从水平方(fang)(fang)向接(jie)出，即进、排(pai)气(qi)(qi)方(fang)(fang)向是相互垂直的。此时(shi)，排(pai)气(qi)(qi)口(kou)(kou)可以从左或(huo)右两个方(fang)(fang)向开口(kou)(kou)，除接(jie)排(pai)气(qi)(qi)管道一端(duan)外，另一端(duan)堵死或(huo)接(jie)旁通阀。这种(zhong)泵(beng)结构重心低，高速运转(zhuan)时(shi)稳定性(xing)好。一般大、中型泵(beng)多采用此种(zhong)结构。

泵的(de)两个转(zhuan)(zhuan)子(zi)轴与水平面(mian)垂直(zhi)安装(zhuang)。这种结构装(zhuang)配间隙(xi)容(rong)易控制，转(zhuan)(zhuan)子(zi)装(zhuang)配方便，泵占(zhan)地面(mian)积(ji)小。但泵重心较高且(qie)齿轮拆装(zhuang)不便，润(run)滑机构也相对复杂。

（2） 泵的传动(dong)方(fang)式

真空泵(beng)的(de)(de)(de)两个转(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)是通过一(yi)对高精度(du)(du)齿轮(lun)(lun)(lun)来实现其相(xiang)对同步运转(zhuan)(zhuan)的(de)(de)(de)。主(zhu)(zhu)动(dong)(dong)(dong)轴(zhou)通过联(lian)轴(zhou)器与电(dian)(dian)(dian)机联(lian)接。在传(chuan)动(dong)(dong)(dong)结构(gou)布置上主(zhu)(zhu)要有以下(xia)两种：其一(yi)是电(dian)(dian)(dian)动(dong)(dong)(dong)机与齿轮(lun)(lun)(lun)放在转(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)的(de)(de)(de)同一(yi)侧如图。从(cong)动(dong)(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)由电(dian)(dian)(dian)动(dong)(dong)(dong)机端齿轮(lun)(lun)(lun)直接传(chuan)过去带动(dong)(dong)(dong)，这样主(zhu)(zhu)动(dong)(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)轴(zhou)的(de)(de)(de)扭(niu)转(zhuan)(zhuan)变(bian)形小，则两个转(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)之间(jian)的(de)(de)(de)间(jian)隙(xi)不(bu)会(hui)因(yin)主(zhu)(zhu)动(dong)(dong)(dong)轴(zhou)的(de)(de)(de)扭(niu)转(zhuan)(zhuan)变(bian)形大而改变(bian)，故(gu)使(shi)转(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)之间(jian)的(de)(de)(de)间(jian)隙(xi)在运转(zhuan)(zhuan)过程中均匀。这种传(chuan)动(dong)(dong)(dong)方式的(de)(de)(de)最大缺点是：a.主(zhu)(zhu)动(dong)(dong)(dong)轴(zhou)上有三(san)个轴(zhou)承(cheng)，增加了泵(beng)的(de)(de)(de)加工和装配难度(du)(du)，齿轮(lun)(lun)(lun)的(de)(de)(de)拆装及调整也不(bu)便；b.整体结构(gou)不(bu)匀称，泵(beng)的(de)(de)(de)重心偏(pian)向电(dian)(dian)(dian)动(dong)(dong)(dong)机和齿轮(lun)(lun)(lun)箱一(yi)侧。

    极限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)”是(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵的一(yi)个(ge)重(zhong)要参数，是(shi)反(fan)应泵抽气能(neng)力的特性值(zhi)(zhi)，是(shi)与真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵相(xiang)关的一(yi)个(ge)数值(zhi)(zhi)，不(bu)(bu)同的真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵可以有(you)不(bu)(bu)同的“极限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)”度(du)。而(er)“理论真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)”是(shi)理论研究时的一(yi)个(ge)概念，是(shi)排除各种实际(ji)因素(su)的影(ying)响而(er)提(ti)炼出的一(yi)种最理想的真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)状态。真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)容(rong)器经(jing)充(chong)分抽气后(hou)，稳定在某(mou)一(yi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)度(du)，此真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)度(du)称为极限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)。通(tong)常真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)容(rong)器须经(jing)12小时炼气，再经(jing)12小时抽真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)，最后(hou)一(yi)个(ge)小时每隔10分钟测(ce)量一(yi)次(ci)，取其10次(ci)的平均值(zhi)(zhi)为极限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)值(zhi)(zhi)。